采用索尼Pregius S背照(BSI)技術(shù)傳感器,在減小相機(jī)體積的同時(shí)確保量子效率。200 nm波段量子效率高于25%,整個(gè)UVA和UVB波段量子效率在40%-50%之間。
02 支持定制化設(shè)計(jì)
標(biāo)準(zhǔn)版:傳感器帶有雙層AR(防反射)涂層的石英玻璃罩,預(yù)防變臟和損壞同時(shí)最大限度允許光線通過。
定制版:傳感器可拆卸玻璃蓋,這種設(shè)計(jì)為特殊的紫外應(yīng)用提供便利,在激光光束輪廓測(cè)繪等應(yīng)用可以避免干涉條紋的影響。
產(chǎn)品型號(hào) | GO-8105M-5GE-UV |
顏色 | ?Mono |
分辨率 | 2856 x 2848 |
幀速 | 66fps |
波長(zhǎng) | Visible+UV |
像元 | 2.74 x 2.74μm |
快門 | 全局 |
芯片類型 | CMOS |
位深 | 8/10/12bit |
接口 | 5GigE |
01 晶圓細(xì)小雜質(zhì)檢測(cè)
在雜質(zhì)檢測(cè)中,照射光源通過對(duì)象物體發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察,因?yàn)閷?duì)象物非常小,接收到的光極其微弱。比光波長(zhǎng)還要小的對(duì)象物體發(fā)出散射光是與對(duì)象物尺寸的6倍成正比,波長(zhǎng)的4倍成反比。因此,為檢測(cè)出細(xì)小雜質(zhì)需要照射更短波長(zhǎng)的光,同時(shí)還要具備非常高靈敏度。
同時(shí)在數(shù)μm以下對(duì)分辨率有要求的檢測(cè)中使用的照明光源波長(zhǎng)與所需的分辨率接近。因此,光學(xué)分辨率極限便是一個(gè)問題。所謂分辨率是指能夠區(qū)分2個(gè)光斑距離的分辨率,它依賴于光的波長(zhǎng)。比起采用可見光,使用波長(zhǎng)更短的紫外線,在分辨率方面更有優(yōu)勢(shì)。
GO-8105M-5GE-UV具備8.1MP分辨率,2.74μm像元,適用于針對(duì)晶圓細(xì)小雜質(zhì)高精度檢測(cè)。
02 光掩模對(duì)準(zhǔn)
在光刻工藝中會(huì)有多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,掩模版上的精細(xì)圖形通過光線曝光印制到硅片上的過程中,利用光掩模和晶圓表面未對(duì)準(zhǔn)而導(dǎo)致對(duì)紫外線反射或吸收程度差異特性,用紫外相機(jī)拍攝被照亮的光掩模,進(jìn)行模版對(duì)準(zhǔn)分析。
03 塑料分選
利用UV光分選丙烯酸樹脂(PMMA)和聚苯乙烯(PS)。
通過UV圖像傳感器檢測(cè),劣化的電絕緣體會(huì)輻射紫外線。
GO-8105M-5GE-UV面陣相機(jī),身材小巧,寬光譜高靈敏度,保障半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)或科研領(lǐng)域研究,是紫外成像解決方案可靠選擇。